走査型プローブ顕微鏡（SPM/AFM）

走査型プローブ顕微鏡（Scanning Probe Microscope：SPM）とは、探針と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、微少領域の表面形状観察、電気・機械物性計測を行う装置です。 この物理的相互作用には、原子間力、摩擦力、静電気力などがあります。 また、大気中、真空中の様々な環境において測定ができ、導電性、絶縁性を問わず試料表面の観察が可能です。

SISモードをベースとしたフォースカーブマッピング測定が可能です。SIS-ACCESSにより機械物性マッピング（弾性率像、変形像、吸着像、散逸像など）が取得でき、SIS-QuantiMech機能を用いることで、局所領域の弾性率測定及び定量解析が可能になりました。

Nano/Pico Current AFMでは、試料にバイアス電圧を印加し、導電性探針を通して流れる電流をI/Vアンプによって計測することで電流像を得ることが出来ます。KFMでは、試料に静電界（AC+DC）を印加し、探針-試料間の静電気力を検出することで、試料表面の電位・電荷分布、接触電位差などを画像化することが出来ます。

LM-FFMでは、試料を水平に振動させた際のカンチレバーのねじれ振動から摩擦力分布を画像化します。
FFMと比べて、探針の走査方向や試料凹凸の影響が小さいという利点があります。

原子間力顕微鏡（Atomic Force Microscope：AFM）は、探針と試料に作用する原子間力を検出するタイプの顕微鏡です。AFM探針は片持ちバネ（カンチレバー）の先端に取り付けられていて、この探針と試料表面を微小な力で接触させ、カンチレバーのたわみ量が一定になるように探針・試料間距離（Z）をフィードバック制御しながら水平（X、Y）に走査することで、表面形状を画像化します。カンチレバー種類や検出信号を変えることにより様々な物性測定が可能となります。