表面観察・表面分析
物質表面の状態（形状、組成や化学結合）を観察/分析することは製品の研究開発のみならず、品質管理や故障解析においても重要な手段となっています。
セイコーフューチャークリエーションの表面観察・表面分析の特徴
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1試料最表面の（～5nm）の元素情報及び化学結合状態の分析が可能です。
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2スパッタ、イオンビームエッチングと組み合わせ、試料内部への深さ方向分析が可能です。
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3試料表面のnmオーダーの形状測定と電気・機械特性の測定が可能です。
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4大気中、真空中の様々な環境において、nmオーダーの形状測定が可能です。
表面観察・表面分析の手法
XPS分析（X線光電子分光分析）
試料表面にX線を照射し、放出される光電子のエネルギーを検出して、試料表面の構成元素とその化学結合状態を測定する装置です。イオンビームエッチングと組み合わせることで、試料内部の分析も可能です。
AES分析(オージェ電子分光分析)
試料表面に集束した電子線を照射し、放出されるオージェ電子のエネルギーを検出して、試料表面の微小領域の構成元素を測定する装置です。イオンビームエッチングと組み合わせることで、試料内部の分析も可能です。
GD-OES分析
スパッタリングにより試料表面からはじき出された原子をプラズマ状態に励起し、生じた発光を測定することで組成を調べる装置です。表面から深さ方向への元素の分布状態を数十ppmの感度で測定が可能です。
AFM測定（原子間力顕微鏡）
探新と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、表面形状、電気機械物性を測定する装置です。大気中、真空中の様々な環境において、測定が可能です。
表面観察・表面分析の事例紹介
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技術課題に対して現象把握～原因推定をお客様と一緒に考え、科学的な視点で調査することにより、原因究明や対策立案をサポートします。お気軽にご相談ください。
表面観察・表面分析設備の紹介
電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）
電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）は、微小な表面構造を鮮明に観察することができます。焦点深度が深い像が得られることから、三次元的な画像が観察できる装置です。
X線光電子分光法(XPS)/オージェ電子分光法(AES)
X線光電子分光法(XPS)/オージェ電子分光法(AES)は、固体の極表層（数nm程度）の元素情報を取得する分析法です。材料の洗浄評価や表面変質、変色の原因調査などに有効です。
