XRF-薄膜FP法による膜厚測定
背景 蛍光X線分析（XRF）による非破壊での膜厚測定法は広く知られていますが、分析対象試料と標準試料...
鈴木 誠
| 目的 | 2相ステンレスの相解析を行う |
|---|---|
| 手法 | 電子線後方散乱回折法（EBSD） |
| 手法の特徴 | ・結晶系の異なる相の分離が可能 ・分離相ごとに、分布割合や結晶方位解析が可能 |
| 結果 | 2相ステンレスにおいて、α相、γ相の分布割合と結晶方位が確認できた |
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