半導体接合膜上のシミのAFM観察
| 目的 |
半導体接合膜上のシミをAFM観察し凹凸情報を取得することで、接合時に影響を及ぼす因子と成り得るか評価しました。 |
|---|---|
| 手法 |
SEMで見えたシミをAFMを用いて観察し、粗さ及び段差を計測しました。 |
受託分析・微細加工(FIB加工)のご依頼について
技術課題に対して現象把握～原因推定をお客様と一緒に考え、科学的な視点で調査することにより、原因究明や対策立案をサポートします。お気軽にご相談ください。
| 目的 |
半導体接合膜上のシミをAFM観察し凹凸情報を取得することで、接合時に影響を及ぼす因子と成り得るか評価しました。 |
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| 手法 |
SEMで見えたシミをAFMを用いて観察し、粗さ及び段差を計測しました。 |
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