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半導体接合膜上のシミのAFM観察

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半導体接合膜上のシミのAFM観察
目的

半導体接合膜上のシミをAFM観察し凹凸情報を取得することで、接合時に影響を及ぼす因子と成り得るか評価しました。

手法

SEMで見えたシミをAFMを用いて観察し、粗さ及び段差を計測しました。

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