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温度可変AFMによるレジストパターンの測定

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温度可変AFMによるレジストパターンの測定
目的

加熱によってレジストパターンにどの様な変化が見られるか評価しました。

手法

温度可変AFMを用いて真空中で昇温させながら、各温度ポイントでのレジスト形状を測定しました。

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