温度可変AFMによるレジストパターンの測定
| 目的 |
加熱によってレジストパターンにどの様な変化が見られるか評価しました。 |
|---|---|
| 手法 |
温度可変AFMを用いて真空中で昇温させながら、各温度ポイントでのレジスト形状を測定しました。 |
受託分析・微細加工(FIB加工)のご依頼について
技術課題に対して現象把握～原因推定をお客様と一緒に考え、科学的な視点で調査することにより、原因究明や対策立案をサポートします。お気軽にご相談ください。
| 目的 |
加熱によってレジストパターンにどの様な変化が見られるか評価しました。 |
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| 手法 |
温度可変AFMを用いて真空中で昇温させながら、各温度ポイントでのレジスト形状を測定しました。 |
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