XRF-薄膜FP法による膜厚測定
背景 蛍光X線分析（XRF）による非破壊での膜厚測定法は広く知られていますが、分析対象試料と標準試料...
鈴木 誠
| 目的 | ステンレスの熱処理後に起こる変色の原因を探る |
|---|---|
| 手法 | グロー放電発光分析装置（GD-OES） |
| 特徴 | ・試料表面をスパッタして、深さ方向の組成情報を調べる装置 ・nmオーダーの高い深さ分解能で測定をすることが可能 |
| 結果 | 熱処理後の試料において、O元素とFe元素の分布から鉄酸化膜の形成を確認 変色の原因は酸化膜による光干渉と判断 |
熱処理前
熱処理後
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