GD-OESによる変色したステンレスの組成調査

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タグ
金属、セラミックス、ガラス  フィルム  電子部品、ウェーハ  変色  劣化  組成分布 

鈴木 誠

B!
目的 ステンレスの熱処理後に起こる変色の原因を探る
手法 グロー放電発光分析装置(GD-OES)
特徴 ・試料表面をスパッタして、深さ方向の組成情報を調べる装置
・nmオーダーの高い深さ分解能で測定をすることが可能
結果 熱処理後の試料において、O元素とFe元素の分布から鉄酸化膜の形成を確認
変色の原因は酸化膜による光干渉と判断
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分析事例

熱処理前後におけるステンレスの組成測定

GD-OES測定データ

熱処理前

熱処理後

解析結果

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