走査型プローブ顕微鏡のご紹介

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タグ
金属、セラミックス、ガラス  電子部品、ウェーハ  実装  異物・不純物  組成分布 

本田 清樹

B!
特徴

AFMはプローブ(探針)と試料表面の間に働く様々な物理的相互作用を検出し、微小領域の表面形状観察や物性を測定する顕微鏡です。
三次元形状と物性の高倍率同時観察や環境制御(大気、真空、温度可変)にも対応可能です。

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