真空中でのAFM導電性測定

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一般材料  材料・素材  形態観察  分析事例 
タグ
金属、セラミックス、ガラス  電子部品、ウェーハ  MEMSプロセス  劣化  腐食防食 

鈴木 誠

B!
特徴 ・大気の影響を低減した測定が可能(真空中測定)
・形状及び導電性を同時にマッピング表示
・測定エリア:最大150μm□エリアまで可能

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