真空中でのAFM導電性測定

カテゴリ
一般材料  材料・素材  形態観察  分析事例 
タグ
MEMSプロセス  金属、セラミックス、ガラス  電子部品、ウェーハ  腐食防食  劣化 

鈴木 誠

B!
特徴 ・大気の影響を低減した測定が可能(真空中測定)
・形状及び導電性を同時にマッピング表示
・測定エリア:最大150μm□エリアまで可能

詳細PDFをダウンロード

受託分析・微細加工(FIB加工)のご依頼について

技術課題に対して現象把握~原因推定をお客様と一緒に考え、科学的な視点で調査することにより、原因究明や対策立案をサポートします。お気軽にご相談ください。

受託分析と微細加工(FIB加工)へのお問い合わせはこちら

関連記事

XRF-薄膜FP法による膜厚測定

背景 蛍光X線分析(XRF)による非破壊での膜厚測定法は広く知られていますが、分析対象試料と標準試料...

赤外顕微鏡(FT-IR装置)によるシリコン膜厚測定

目的 シリコン薄膜の膜厚測定 手法 赤外顕微鏡によるピンポイントでの反射測定、および膜厚換算 結果 ...