XRF-薄膜FP法による膜厚測定
背景 蛍光X線分析（XRF）による非破壊での膜厚測定法は広く知られていますが、分析対象試料と標準試料...
鈴木 誠
| 目的 | 2種類のフッ素系撥水膜の状態解析を行う |
|---|---|
| 手法 | Ｘ線光電子分光分析(XPS) |
| 手法の特徴 | ・試料最表面(数nm)の元素情報を得ることができるため、表面汚染・変色の分析、表面処理の評価に有効 ・元素の特定だけでなく元素の結合状態の解析も可能 |
| 結果 | C1sの状態解析結果より、炭素の結合の種類とその定量値が判明した |
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