AFMによる材料表面の導電性評価

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一般材料  材料・素材  形態観察  分析事例 
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金属、セラミックス、ガラス  電子部品、ウェーハ  MEMSプロセス  劣化  腐食防食 

鈴木 誠

B!
特徴 ・AFMでは、極めて微小な凹凸(表面形態)を捉えて測長することが可能
・形状測定と同時に、C-AFM(電流測定モード)のデータを取得することが可能

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