FFMのフリクショ ナルカーブによる摩擦⼒測定

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分析事例

フリクショナルカーブによる摩擦力測定

• 目的：油膜とSiウェハの摩擦力(摩擦抵抗)を、摩擦力顕微鏡(FFM)のフリクショナルカーブモードを用いて比較評価しました。
• 手法：摩擦力顕微鏡(FFM)、フリクショナルカーブ(図1にイメージ図を示す)により摩擦力の違いを定量的に示すことが可能です(図2に示す)。

■原理

■測定事例

■まとめ

• 摩擦力の違いを定量的に示すことが出来ました。※油膜58.58mV、Siウェハ78.11mV
• フリクショナルカーブ測定値【mV】から摩擦係数μの算出(参考値)も可能です。

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