FIBによる高アスペクトスリットの作製

カテゴリ
半導体  エレクトロニクス  自動車・航空機・宇宙  一般材料  材料・素材  FIB微細加工  医療  微細加工  通信  微細加工事例 
タグ
試料作成  試作品作成  集束イオンビーム装置（FIB）分析  集束イオンビーム装置（FIB）加工  半導体  金属、セラミックス、ガラス  電子部品、ウェーハ  センサー  MEMSプロセス  半導体プロセス 

眞瀨 江理子

B!
目的

FIBは、試料から様々な形状をエッチングで作製することが可能です。ここでは、高アスペクトのスリットを作製した例を紹介します。

詳細PDFをダウンロード

 

FIB微細加工の詳細情報はこちらをぜひご覧ください

受託分析・微細加工(FIB加工)のご依頼について

技術課題に対して現象把握～原因推定をお客様と一緒に考え、科学的な視点で調査することにより、原因究明や対策立案をサポートします。お気軽にご相談ください。

受託分析と微細加工(FIB加工)へのお問い合わせはこちら

関連記事

【C-2】ガラス微細加工とは？製造業に革新をもたらす技術解説

「ガラス微細加工」とは、ガラス素材に対して微細な加工を施し、高精度な製品を実現する技術です。近年、製...

FT-IR(フーリエ変換赤外分光法)を用いた食品包装用フィルムの分析

目的 食品包装用フィルムは、多くの場合多層フィルムが使用されています。FT-IRを用いて多層フィルム...