イオン液体を用いたSEM観察前処理

カテゴリ
半導体  エレクトロニクス  一般材料  材料・素材  形態観察  分析事例 
タグ
金属、セラミックス、ガラス  プラスチック、樹脂、ゴム  異物・不純物 

鈴木 誠

B!
特徴 ・イオン液体とは、常温で液体であり、真空中でも蒸発せず、イオン導電性を有している物質
・SEM観察の前処理にイオン液体を用いると、表面凹凸の激しい試料でも全体に 染みわたり、真空中での水分蒸発による形態の変化も防ぐことも可能

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