XRF-薄膜FP法による膜厚測定
背景 蛍光X線分析（XRF）による非破壊での膜厚測定法は広く知られていますが、分析対象試料と標準試料...
鈴木 誠
| 特徴 | ・イオン液体とは、常温で液体であり、真空中でも蒸発せず、イオン導電性を有している物質 ・SEM観察の前処理にイオン液体を用いると、表面凹凸の激しい試料でも全体に 染みわたり、真空中での水分蒸発による形態の変化も防ぐことも可能 |
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