SEM/EBSDによるはんだ断面の残留応力調査

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応力・歪み解析  結晶構造  電子部品、ウェーハ  破損・破壊  半導体  半導体プロセス  実装 

鈴木 誠

B!
目的 熱衝撃試験後のIC実装はんだの残留応力を調査
手法 ・走査電子顕微鏡(SEM)
・電子線後方散乱回折法(EBSD)
結果 はんだ内部に残留応力が分布している様子を把握できた
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