FT-IR(フーリエ変換赤外分光法)を用いた食品包装用フィルムの分析
目的 食品包装用フィルムは、多くの場合多層フィルムが使用されています。FT-IRを用いて多層フィルム...
鈴木 誠
| 目的 | 半導体のPoly-Siおよび絶縁膜の評価を行う |
|---|---|
| 手法 | 透過電子顕微鏡(STEM/EDS） |
| 手法の特徴 | ・半導体デバイスでの指定部位観察が可能 ・STEM-EDSにより高倍率観察・高分解能分析が可能 |
| 結果 | ・STEM観察によりPoly-Siおよび絶縁膜の形状に異常が無いことが確認できた ・EDS分析によりPoly-Si間の絶縁膜(Si酸化膜-Si窒化膜-Si酸化膜)の層構造も問題ないことが確認できた |
STEM像
窒素の分布像
シリコンの分布像
酸素の分布像
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