【C-2】ガラス微細加工とは？製造業に革新をもたらす技術解説
「ガラス微細加工」とは、ガラス素材に対して微細な加工を施し、高精度な製品を実現する技術です。近年、製...
鈴木 誠
| 目的 | 集束イオンビームのエッチング機能を用いてマスクレスでSi基板にナノレベルの高さ制御加工を実施 |
|---|---|
| 手法 | 集束イオンビーム加工 |
| 結果 | ・円形：φ5μm ・ピラーの高さ：700nm/650nm/600nm ・ピラーの径：φ500nm |
FIBによる加工結果
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