STEMによるコネクタ端子接点不良解析

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半導体  金属、セラミックス、ガラス  電子部品、ウェーハ  センサー  異物・不純物  組成分布 

鈴木 誠

B!
目的 コネクタ端子接点不良の原因調査
手法 透過電子顕微鏡(STEM/EDS)
結果 ・表面を保護するサンプリング法により、端子表面の付着物層(20nm程度)が損失なく確認
・EDS分析結果より、付着物の主成分はC(炭素)、O(酸素)であるため接点不良は有機物汚染によるものと推定
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