めっき基板の洗浄評価(GD-OES測定)

カテゴリ
半導体  エレクトロニクス  一般材料  材料・素材  表面分析  構造解析  分析事例 
タグ
金属、セラミックス、ガラス  フィルム  電子部品、ウェーハ  変色  劣化  組成分布 

鈴木 誠

B!
目的 めっき工程前の基板洗浄効果を調査
手法 グロー放電発光分析装置(GD-OES)
結果 ステンレス基板表面のC元素(カーボン)が減少しており洗浄効果を確認

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