イオンミリング法(CP加工)の紹介

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鈴木 誠

B!
目的 イオンミリング法により各種材料の断面解析を行う
手法 イオンミリング加工
結果 ・機械研磨法に比べて、ダメージを低減させた加工面を得ることが可能
・熱に弱い材料でも、熱影響を低減させた加工が可能
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