化合物半導体の断面観察

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タグ
集束イオンビーム装置(FIB)加工  半導体  電子部品、ウェーハ  半導体プロセス 

眞瀨 江理子

B!
目的 化合物半導体に対して、FIB-SEMで断面作製・観察を実施しました。

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