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GD-OESによる変色したステンレスの組成調査

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GD-OESによる変色したステンレスの組成調査
目的 ステンレスの熱処理後に起こる変色の原因を探る
手法 グロー放電発光分析装置(GD-OES)
特徴 ・試料表面をスパッタして、深さ方向の組成情報を調べる装置
・nmオーダーの高い深さ分解能で測定をすることが可能
結果 熱処理後の試料において、O元素とFe元素の分布から鉄酸化膜の形成を確認
変色の原因は酸化膜による光干渉と判断

分析事例

熱処理前後におけるステンレスの組成測定

熱処理前後におけるステンレスの組成測定

GD-OES測定データ

熱処理前

熱処理前

熱処理後

熱処理後

解析結果

  • 熱処理後の試料において、O元素とFe元素の分布から鉄酸化膜の形成が確認できます
    この酸化膜による光干渉により、変色していると考えられます
  • GD-OES装置は深さ分解能に優れており、試料表面や薄膜の評価に活用できます

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