FFMのフリクショ ナルカーブによる摩擦⼒測定
| 目的 | 油膜とSiウェハの摩擦力(摩擦抵抗)を、摩擦力顕微鏡(FFM)のフリクショナルカーブモードを用いて比較評価しました。 |
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| 手法 | 摩擦力顕微鏡(FFM)、フリクショナルカーブにより摩擦力の違いを定量的に示すことが可能です。 |
| 解析結果 | ●摩擦力の違いを定量的に示すことが出来ました。 ※油膜58.58mV、Siウェハ78.11mV ●フリクショナルカーブ測定値【mV】から摩擦係数μの算出(参考値)も可能です。 |
分析事例
フリクショナルカーブによる摩擦力測定
- 目的：油膜とSiウェハの摩擦力(摩擦抵抗)を、摩擦力顕微鏡(FFM)のフリクショナルカーブモードを用いて比較評価しました。
- 手法：摩擦力顕微鏡(FFM)、フリクショナルカーブ(図1にイメージ図を示す)により摩擦力の違いを定量的に示すことが可能です(図2に示す)。
■原理
FFMを用いたフリクショナルカーブモードでの測定では、カンチレバーがねじれる方向の走査を往復したときの変位の差分から摩擦力を推測します。摩擦力が大きいほどねじれが大きくなるため、往復の変位の差分が大きくなります。
図1．フリクショナルカーブ
■測定事例
図2．異種材料のフリクショナルカーブと摩擦力の違い
■まとめ
- 摩擦力の違いを定量的に示すことが出来ました。※油膜58.58mV、Siウェハ78.11mV
- フリクショナルカーブ測定値【mV】から摩擦係数μの算出(参考値)も可能です。
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