FIBによる高アスペクトスリットの作製
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FIBは、試料から様々な形状をエッチングで作製することが可能です。ここでは、高アスペクトのスリットを作製した例を紹介します。 |
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受託分析・微細加工(FIB加工)のご依頼について
技術課題に対して現象把握～原因推定をお客様と一緒に考え、科学的な視点で調査することにより、原因究明や対策立案をサポートします。お気軽にご相談ください。
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