イオン液体を用いたSEM観察前処理
| 特徴 | ・イオン液体とは、常温で液体であり、真空中でも蒸発せず、イオン導電性を有している物質 ・SEM観察の前処理にイオン液体を用いると、表面凹凸の激しい試料でも全体に 染みわたり、真空中での水分蒸発による形態の変化も防ぐことも可能 |
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受託分析・微細加工(FIB加工)のご依頼について
技術課題に対して現象把握～原因推定をお客様と一緒に考え、科学的な視点で調査することにより、原因究明や対策立案をサポートいたします。お気軽にご相談ください。
| 特徴 | ・イオン液体とは、常温で液体であり、真空中でも蒸発せず、イオン導電性を有している物質 ・SEM観察の前処理にイオン液体を用いると、表面凹凸の激しい試料でも全体に 染みわたり、真空中での水分蒸発による形態の変化も防ぐことも可能 |
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