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SEM/EBSDによるはんだ断面の残留応力調査

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SEM/EBSDによるはんだ断面の残留応力調査
目的 熱衝撃試験後のIC実装はんだの残留応力を調査
手法 ・走査電子顕微鏡(SEM)
・電子線後方散乱回折法(EBSD)
結果 はんだ内部に残留応力が分布している様子を把握できた

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