冷却(クライオ)イオンミリング断面加工
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| 目的 | 配向膜(有機膜)を含むアレイ基板の断面作製および観察 |
|---|---|
| 手法 | ・冷却(クライオ)イオンミリング加工 ・電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM) |
| 結果 | 冷却断面加工法により耐熱性の低い有機膜を含む素子の観察ができた |
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