EBSDを用いたアルミスパッタ膜の評価

目的 | アルミスパッタ膜の配向を評価する |
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手法 | ・走査電子顕微鏡(SEM) ・電子線後方散乱回折法(EBSD) |
結果 | 下地材料の違いがアルミスパッタ膜の配向に強く影響していることが判明 |
受託分析・微細加工(FIB加工)のご依頼について
技術課題に対して現象把握~原因推定をお客様と一緒に考え、科学的な視点で調査することにより、原因究明や対策立案をサポートします。お気軽にご相談ください。
目的 | アルミスパッタ膜の配向を評価する |
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手法 | ・走査電子顕微鏡(SEM) ・電子線後方散乱回折法(EBSD) |
結果 | 下地材料の違いがアルミスパッタ膜の配向に強く影響していることが判明 |
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