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化合物半導体の断面観察

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#集束イオンビーム装置（FIB）加工#半導体#電子部品、ウェーハ#半導体プロセス
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化合物半導体の断面観察
目的 化合物半導体に対して、FIB-SEMで断面作製・観察を実施しました。​

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