ポリイミド膜の剥離加工
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アシストガスを用いた選択エッチングの例です。ここでは、IC上のポリイミド膜をアシストガスを用いて剥離加工を行った例を紹介します。 |
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受託分析・微細加工(FIB加工)のご依頼について
技術課題に対して現象把握～原因推定をお客様と一緒に考え、科学的な視点で調査することにより、原因究明や対策立案をサポートします。お気軽にご相談ください。
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アシストガスを用いた選択エッチングの例です。ここでは、IC上のポリイミド膜をアシストガスを用いて剥離加工を行った例を紹介します。 |
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